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      雙頻激光干涉儀

      LH1000雙頻激光干涉儀

      產品描述:

      光刻機專用雙頻激光干涉儀
      可構建XY位移臺等多軸測量系統
      全球獨家采用直接輸出線偏振光、大功率、大頻差雙頻激光器
      無圓偏振光轉線偏振光非線性誤差
      大功率可同時測量更多數量的軸向位移
      大頻差,測量速度更快

      服務熱線:4008168900
      立即咨詢

      專為光刻機配套開發的高精度測量系統;

      通過國家重大專項“極大規模集成電路制造技術及成套工藝”項目驗收。

      采用全球唯一能直接輸出線偏振光的雙頻激光器;

      全球最低非線性高精密測量系統,測量更精準;

      可提供1~20MHz頻差內任意頻差產品,滿足各種測量速度需要。

      光源和測量信號接收單元分體式設計,方便搭建XY位移臺等多軸測量系統;

      精巧的測量信號光纖接收頭,即使空間狹小也能方便安裝;

      標準光刻機干涉儀安裝尺寸和數據接口,可直接替換現有產品。



      型號

      頻差(MHz)

      最小出光功率(μW)

      光斑尺寸(mm)

      穩頻精度(ppm)

      LH1000A

      1.0±0.5

      >500

      6

      ±0.02

      LH1000B

      2.0±0.5

      > 500

      6

      ±0.02

      LH1000C

      3.0±0.5

      > 500

      3, 6, 9

      ±0.02

      LH1000D

      4.0±0.5

      >500

      6, 9

      ±0.02

      LH1000DL

      5.0±0.5

      > 500

      6, 9

      ±0.02

      LH1000EL

      6.0±0.5

      >500

      6

      ±0.02

      LH1000FL

      7.0±0.5

      >500

      6, 9

      ±0.02

      LH1000GL

      8.0±0.5

      > 500

      9

      ±0.02

      LH1000H

      9.0±0.5

      > 500

      3, 6, 9

      ±0.02

      LH1000I

      10.0-20.0(按需定制)

      > 500

      3, 6, 9

      ±0.02

      注:可根據需求定制更小頻差范圍。

      微信截圖_20210616121113.png

       


      懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

      LH1000雙頻激光干涉儀應用于尼康光刻機后,其工作臺精度由原來的23nm提高到6nm!

      圖片1.jpg


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      管理員

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      美國網友
      4008168900
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